钨灯丝电镜改装电子束曝光(代管物理系设备)
发布时间: 2013-12-26 浏览次数: 1177
 

   

 

 

 

 

型号:Quantum
厂家:德国Raith公司
技术指标:
SEM分辨率:3nm@30KV。
最小线宽:50nm。
直写速度:2.5MHz(400ns)
电流测量范围:10pA-10nA。
电子束驻留时间:100ns
 
主要功能:
采用电子束直接曝光的方法,制作纳米图形结构(最小线宽为50nm)。用于各种微纳器件与纳米人工结构的制作,是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具,也可用于直写高精度的光刻模板。可用于制作下列器件与结构:微纳电子器件,光电子器件,生物传感器,超导电子学器件,磁电子学器件,低维材料输运性质测量的纳米电极,光子晶体与左手材料等。