收费标准
 
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复旦大学微纳加工服务收费标准(2015版)

设备名称

对外标准(/小时)

备注

实验室使用和安全培训

50//


进洁净间

30/

含常规小型设备使用实验和洁净室耗材费用

设备工艺集中培训

300//


紫外光刻(Karl Suss MA6)

600

光刻版自备或支付相应材料费

制版机(Heidelberg mPG 501)

600

钨灯丝电镜+电子束曝光

(Zeiss EVO10 + Raith Elphy Quantum)

不对外开放

江湾校区,仅对物理系开放

场发射电镜+电子束曝光

(Zeiss Sigma + Raith Elphy plus)

800


聚焦离子束(双束)显微镜(Auriga)

1000


电子束蒸发镀膜
   (Kurt Lesker PVD 75)

800

60/10nm (贵重金属)

磁控溅射(DE500)

800

60/10nm (贵重金属)

原子层沉积(Sunale R-200

600/

4/nm

快速退火炉

200/


临界点干燥仪

200/


热蒸发镀膜
   (Kurt Lesker Nano36)

600

60/10nm (贵重金属)

台阶仪
   (Bruker DektakXT)

300


引线压焊机(West bond)

200


纳米压印
   Entire3

300


探针台/4200参数测试仪

200


等离子刻蚀(Oxford ICP)

800


等离子增强沉积(PECVD)

700


反应离子刻蚀
   (Trion RIE)

600


HMDS烘箱(YES)

200/


离子束刻蚀(LKJ-3D-150)

600


拉曼光谱
   (JY HR Evolution)

500


椭圆偏振仪(JY UVSEL2)

500


原子力显微镜
   (Bruker Dimension ICON)

400

50(cont, tap), 100(EFM,MFM),   150(CAFM,SCM,NANOLITH)

微波去胶

300


水滴角测试仪
300

真空沉积100元/次
探针台2
80元/小时

小型设备培训(膜厚仪、划片、紫外臭氧、天平、热版、国产甩胶、真空烘箱)

100//


说明:

1、 设备机时以30分钟作为最小计时单位,不足30分钟部分按30分钟计算收费机时。

2、 本收费标准中涉及的大型仪器机时费均为用户自行操作;如需委托工程师操作,则收费标准上浮50%,且无法保证实际完成时间。