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型号:F40

技术指标:

波长范围:400nm-850nm

仅测量厚度:20nm-20um

厚度和nk值:50nm-5um

准确度:0.4%

主要功能:

    通过薄膜上下层的反射谱,测量薄膜的厚度和光学常数(nk值)。可用于光刻胶膜层、氧化物或氮化物膜层、硅和其它半导体膜层等的厚度和光学常数的测量。