型号：4200-SCS/F

技术指标：

源测量单元：4个源测量单元

I-V测量最大电流： 100mA。

I-V测量最小分辨率：最小分辨率为0.1fA。

I-V测量最大电压：200V。

C-V测量：扫频范围1KHz-10MHz，偏置电压±60V。

主要功能：   

    电学特性测量设备，可实现I-V和C-V等特性表征。