型号：310TA

技术指标：

控温范围：160℃。

温度均匀性：±5℃。

腔体尺寸：30.48cmW×33.66cmD×30.48cmH。

可放样品：碎片、一个8英寸、2个6英寸。

控制：显示触摸屏设置各种参数。

控制方式：手动/自动。

主要功能：

    将HMDS涂到样品表面后，经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物，将样品表面由亲水性变为疏水性，此疏水性能够很好的与光刻胶结合，增加了样品表面与光刻胶的粘附作用。