型号:310TA
技术指标:
控温范围:160℃。
温度均匀性:±5℃。
腔体尺寸:30.48cmW×33.66cmD×30.48cmH。
可放样品:碎片、一个8英寸、2个6英寸。
控制:显示触摸屏设置各种参数。
控制方式:手动/自动。
主要功能:
将HMDS涂到样品表面后,经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物,将样品表面由亲水性变为疏水性,此疏水性能够很好的与光刻胶结合,增加了样品表面与光刻胶的粘附作用。