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型号:310TA

技术指标:

控温范围:160℃。

温度均匀性:±5℃。

腔体尺寸:30.48cmW×33.66cmD×30.48cmH

可放样品:碎片、一个8英寸、26英寸。

控制:显示触摸屏设置各种参数。

控制方式:手动/自动。

主要功能:

    将HMDS涂到样品表面后,经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物,将样品表面由亲水性变为疏水性,此疏水性能够很好的与光刻胶结合,增加了样品表面与光刻胶的粘附作用。