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型号:UPG501

技术指标:

光源:LED 390nm

最小线宽:1um

套准精度:0.5um

衬底尺寸:最大为5英寸。

衬底厚度:0-6mm

数据格式:GDSIIDXFCIFBMP

主要功能:

    采用紫外光源(390nm),制作光刻掩模版;也可以直接实现光刻胶的曝光,在光刻胶上制作出亚微米(>1um)图形结构。