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各位用户大家好!

    目前微纳实验室除了PECVD、ICP之外,其他主要设备都正常开放,其中已搬迁至江湾新洁净室的设备包括:光刻区(光刻机、制版机、纳米压印)、沉积Ⅰ区(台阶仪)、刻蚀Ⅰ区(原子层沉积(ALD)、反应离子束刻蚀(RIE)、离子束刻蚀(IBE))、沉积Ⅱ区(磁控溅射镀膜(Sputtering))、五楼(HMDS烘箱,Parylene真空沉积系统)、地下室B062光学区(拉曼光谱仪、椭圆偏振光谱仪)。请需要开通江湾实验室门禁的老用户,请于每周二上午8:30-10:00到江湾物理楼C413裴颖老师处申请开通权限(需带资产处安全考试合格证和一卡通)。

    校外用户需将姓名和身份证号码发送到xuhongtao@fudan.edu.cn,徐老师将统一帮大家申请考试系统的账号和密码。






                                                              微纳加工与器件公共实验室

                                                              2019-04-29