| 设备名称 | 设备负责人 | 上期培训 | 预计下期培训 |
| 培训时间 | 累计培训人数 | 预计培训时间 | 等待培训人数 |
| 钨灯丝电镜（蔡司EVO10） | 张立建 |
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| 四周内 | 1 |
| 场发射扫描电镜(蔡司Sigma) | 张立建 | 2018/11/14 | 290 | 四周内 | 2 |
| 电子束曝光/图形发生器(Raith Elphy Plus) | 张立建 | 2018/10/31 | 169 | 二周内 | 2 |
| 快速退火炉 | 张立建 | 2018/04/18 | 24 | 四周内 | 1 |
| 引线压焊机(West bond) | 张立建 | 2018/04/18 | 49 | 四周内 | 1 |
| 膜厚仪(Filmetrics) | 张立建 | 2018/04/18 | 39 | 四周内 | 1 |
| 等离子刻蚀(Oxford ICP) | 徐红涛 | 2017/09/29 | 34 | 二周内 | 2 |
| 等离子增强沉积(PECVD) | 徐红涛 | 2017/10/10 | 75 | 二周内 | 2 |
| 聚焦离子束(双束)显微镜(Auriga)及能谱 | 安正华 |
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| 三周内 | 2 |
| 制版机(Heidelberg mPG 501) | 王恒亮 | 2017/4/12 | 126 | 四周内
| 0 |
| 紫外光刻(Karl Suss MA6)及HMDS烘箱 | 王恒亮 | 2017/4/12 | 172 | 四周内 | 0 |
| 纳米压印（Entire3） | 王恒亮 |
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| 四周内 | 1 |
| 离子束刻蚀(LKJ-3D-150) | 王恒亮 | 2017/1/6 | 42 | 四周内
| 2 |
| 微波去胶机（Tepla） | 王恒亮 | 2017/4/13 | 1 | 四周内
| 0
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| 原子力显微镜(Bruker Dimension ICON) | 王恒亮 | 2015/10/30 | 54 | 四周内 | 3 |
| 台阶仪(Bruker DektakXT) | 王恒亮 | 2017/4/13 | 64 | 四周内 | 0 |
| 临界点干燥仪 | 王恒亮 | 2014/12/10 |
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| 水滴角测试仪(Drop Shape Analyzer) | 王恒亮 | 2017/4/13 | 2
| 六周内 | 0
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| 电子束蒸发镀膜(Kurt Lesker PVD 75) | 朱丽萍 | 2017/06/08 | 176 | 四周内 | 1 |
| 热蒸发镀膜(Kurt Lesker Nano36) | 朱丽萍 | 2017/04/20 | 85 | 四周内 | 2 |
| 磁控溅射(DE500) | 朱丽萍 | 2017/04/13 | 63 | 二周内 | 4 |
| 原子层沉积（Picosun） | 朱丽萍 | 2017/05/11 | 39 | 四周内 | 1 |
| 反应离子刻蚀(Trion RIE) | 徐红涛 | 2017/11/03 | 126 | 二周内 | 6 |
| 探针台/4200参数测试仪 | 朱丽萍 | 2017/05/12 | 35 | 四周内 | 2 |
| 显微拉曼光谱(JY HR Evolution) | 朱丽萍 | 2017/04/27 | 64 | 四周内 | 2 |
| 椭圆偏振仪(JY UVSEL2) | 朱丽萍 | 2017/03/07 | 36 | 两周内 | 3 |
